项目
参数
风量
21000~35000 Nm3/h
温度
25~70 ℃
气体条件
21%氧气 O2,79%氮气 N2,40 mg/Nm3 氢氟酸HF, 1 mg/Nm3 O3, 2 mg/Nm3 PTFE(颗粒大小bead size≤10um)